[发明专利]用于生产线的可移动式载盘装置

摘要

一种用于生产线的可移动式载盘装置，是用于承载一待处理基板并于一生产线中的一传送机构上移动，其包含一金属承板、一电极板及一绝缘单元。该金属承板能移动地位于该传送机构上并包括一穿孔。该电极板设置于该金属承板上方并供承载该待处理基板。该电极板具有一面向该金属承板的穿孔且裸露于该金属承板的穿孔外的电源载入区。该绝缘单元设置于该金属承板上且夹置于该金属承板与该电极板间，并围绕该电极板的一周缘及该待处理基板的一周缘。该绝缘单元具有至少一与该金属承板的穿孔相通并裸露出该电极板的电源载入区的穿孔。借金属承板及绝缘单元令待处理基板于实施等离子蚀刻程序时，辅助等离子横越待处理基板上表面以增进其表面处理的均匀性。

主权项

一种用于生产线的可移动式载盘装置，是用于承载一待处理基板并于一生产线中的一传送机构上移动，其特征在于：其包含：一金属承板，能移动地位于该传送机构上并包括至少一穿孔；一电极板，设置于该金属承板的上方并供承载该待处理基板，该电极板具有至少一面向该金属承板的穿孔且裸露于该金属承板的穿孔外的电源载入区；及一绝缘单元，设置于该金属承板上且夹置于该金属承板与该电极板间并围绕该电极板的一周缘及该待处理基板的一周缘，该绝缘单元具有至少一与该金属承板的穿孔相通并裸露出该电极板的电源载入区的穿孔。