[发明专利]具有低成本封装的压力传感器有效
申请号: | 201610801431.7 | 申请日: | 2012-01-06 |
公开(公告)号: | CN106370342B | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | R.瓦德;I.本特利 | 申请(专利权)人: | 霍尼韦尔国际公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01L19/14 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 陈岚 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及具有低成本封装的压力传感器。公开了一种压力传感器(10,110),可包括最小量的流质耦合封装。在一个说明性的实施例中,压力传感器组件(10,110)可包括具有第二侧(14,114)和第一侧(16,116)的压力感测管芯(12,112),以及压力感测隔膜(18,118)。所述压力传感器组件(10,110)可进一步包括具有安装侧(22,122)和感测侧(24,124)的外壳(20,120)。所述感测侧可限定压力端口(26,126)。所述压力感测管芯(12,112)可固定到所述外壳(20,120)使得所述压力感测隔膜(18,118)暴露给所述压力端口(26,126),并使得所述压力感测管芯(12,112)的第二侧(14,114)可从所述外壳(20,120)的外侧接入。 | ||
搜索关键词: | 具有 低成本 封装 压力传感器 | ||
【主权项】:
1.一种适用于安装在印刷电路板上的压力传感器组件(10,110),包括:压力端口外壳(20,120),包括感测侧(24,124)和安装侧(22,122);所述压力端口外壳(20,120)进一步包括压力感测管芯空腔(34,134);压力感测管芯(12,112),具有第一侧(16,116)和相对的第二侧(14,114),所述压力感测管芯(12,112)位于所述压力感测管芯空腔(34,134)中,其中所述第一侧(16,116)固定到所述压力端口外壳(20,120)的所述感测侧(24,124),所述压力端口外壳(20,120)和所述压力感测管芯(12,112)的第一侧(16,116)形成用于容纳参考压力的封闭空腔,所述压力感测管芯(12,112)具有压力感测隔膜(18,118),所述压力感测管芯(12,112)还包括在所述第二侧(14,114)上的两个或更多个电焊盘;以及所述压力感测管芯(12,112)的所述第二侧(14,114)背对所述压力端口外壳(20,120)的所述感测侧(24,124)并朝向所述安装侧(22,122),其中,所述压力感测管芯(12,112)的两个或更多个电焊盘(130)可从所述外壳(20,120)的外侧接入,使得所述两个或更多个电焊盘(30,130)被暴露并直接焊接在印刷电路板上的另两个或更多个对应的焊盘上。
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