[发明专利]悬浮结构的MEMS红外光源及其制备方法有效
| 申请号： | 201610797210.7 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106276773B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 明安杰;刘卫兵;任耀辉;毛海央;谭秋林;王玮冰;熊继军;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种悬浮结构的MEMS红外光源及其制备方法。所述悬浮结构的MEMS红外光源包括薄膜悬浮结构及所述悬浮结构上的红外光源结构；所述薄膜悬浮结构为图形化的支撑层，所述支撑层为沉积在承载衬底上的凹弧状的四梁固支结构；所述红外光源结构包括：加热层、隔离层、图形化金属电极以及辐射层；所述加热层沉积在所述支撑层上面，所述图形化金属电极沉积在所述支撑层上面并且与所述加热层侧面相连；所述隔离层制备在所述加热层上面；所述辐射层制备在所述隔离层上表面；所述辐射层、隔离层、加热层和支撑层均悬浮在背部空腔的承载衬底上形成所述薄膜悬浮结构。本发明可以大幅减少热传导通路，降低热质量，提高红外光源的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 加热层 支撑层 悬浮结构 隔离层 制备 薄膜悬浮 红外光源 辐射层 沉积 图形化金属电极 衬底 承载 热传导通路 背部空腔 固支结构 凹弧状 上表面 图形化 悬浮 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种悬浮结构的MEMS红外光源，其特征在于，包括薄膜悬浮结构及所述薄膜悬浮结构上的红外光源结构；所述薄膜悬浮结构为图形化的支撑层，所述支撑层为沉积在承载衬底上的凹弧状的四梁固支结构，所述支撑层与承载衬底接触并且中间为凹弧形状的四个隔离槽结构，所述承载衬底为硅方形框架的硅基衬底；所述红外光源结构包括：加热层、隔离层、图形化金属电极以及辐射层；所述加热层沉积在所述支撑层上面，所述图形化金属电极沉积在所述支撑层上面并且与所述加热层侧面相连；所述隔离层制备在所述加热层上面；所述辐射层制备在所述隔离层上表面；所述辐射层、隔离层、加热层和支撑层均悬浮在背部空腔的承载衬底上形成所述薄膜悬浮结构。
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