[发明专利]稀释剂组合物有效
| 申请号： | 201610796689.2 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106483769B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 崔哲珉;宋寅珏;李京浩 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种稀释剂组合物，包括：丙二醇烷基醚乙酸酯、环酮和甲基2‑羟基异丁酸酯。所述稀释剂组合物具有优异的EBR、RRC和再加工性能以及改善光致抗蚀剂涂覆均匀性的效果，特别地，对具有高极性的光致抗蚀剂表现出优异的溶解性，以可应用于各种光致抗蚀剂。 | ||
| 搜索关键词： | 稀释剂 组合 | ||
【主权项】：
1.稀释剂组合物，包括：基于所述稀释剂组合物的总重量，40至65重量％的丙二醇烷基醚乙酸酯；基于所述稀释剂组合物的总重量，1至8重量％的环酮；和基于所述稀释剂组合物的总重量，35至55重量％的甲基2‑羟基异丁酸酯。
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