[发明专利]一种二极管管芯总成酸洗工艺

摘要

本发明属于半导体二极管生产技术领域，具体是一种二极管管芯总成酸洗工艺。本发明的二极管管芯总成酸洗工艺，通过提高腐蚀液喷洒时间，使二极管管芯总成腐蚀更彻底。通过提高钝化液的钝化温度，提高了钝化效果，提高了二极管成品参数一致性。在腐蚀、钝化和清洗过程中，采用喷洒方式施加药剂，整体上提高了加工效果。在清洗后再加入漂洗过程，去除了二极管管芯总成表面残留的药剂，防止在后续工艺中对二极管成品质量造成影响。通过超声波清洗，可以去除表面粘接的杂质，进一步提高二极管管芯总成的清洁度。去水后再酒精清洗，一方面酒精与水可以去除二极管管芯表面的水，通过风干的方式，酒精快速挥发，使二极管管芯可以快速干燥。

主权项

1.一种二极管管芯总成酸洗工艺，包括以下步骤：S1，将二极管管芯总成进行腐蚀，所采用腐蚀液为硝酸、氢氟酸、乙酸、硫酸按体积比9：9：14：4混合而成，其中所使用的硝酸浓度为69％，所使用的氢氟酸浓度为40％，所使用的乙酸浓度为98％，所使用的硫酸浓度为98.3％，腐蚀液采用喷洒方式施加，腐蚀液温度为10‑20度，腐蚀液喷洒时间100‑150秒；S2，将腐蚀后的二极管管芯总成进行钝化，所采用钝化液为磷酸、双氧水、去离子水按体积比1：1：4.5混合而成，所使用磷酸浓度为75‑85％，所使用双氧水浓度为25‑35％，钝化液采用喷洒方式施加，所使用钝化液温度为60‑70度，钝化液喷洒时间为50‑75秒；S3，将钝化后的二极管管芯总成进行清洗，所采用清洗液为氨水、双氧水、去离子水按体积比1：1：18混合而成，所使用的氨水浓度为15％，所使用双氧水浓度为30％，清洗液采用喷洒方式施加，所使用清洗液温度为15‑20度，清洗液喷洒时间为100‑150秒；S4，将清洗后的二极管管芯总成进行漂洗，所采用的漂洗液为去离子水，漂洗采用浸泡方式进行，所使用漂洗液采用循环更新方式；S5，将漂洗后的二极管管芯总成进行超声波清洗，超声波清洗采用的清洗剂为去离子水；S6，将超声波清洗后的二极管管芯总成去除水分；S7，将去水后的二极管管芯采用酒精清洗，酒精清洗所使用的酒精纯度大于97％；S8，将酒精清洗后的二极管管芯总成在无尘室内风干去除酒精。