[发明专利]太阳能电池硅片的制绒方法

摘要

一种太阳能电池硅片的制绒方法，它包括以下步骤1)将HF、HNO3和水的混合液、KOH和水的混合液以及HF、HCL和水的混合液分别放入到链式制绒机的第一个槽、第二个槽和第三个槽中，且体积比为HFHNO3水＝12.0～3.62.4，KOH水＝7120～160，HFHCL水＝43～710；所述水均为纯水；(2)启动链式制绒机；与现有技术相比，本发明不需要其它添加剂就可制备绒面腐蚀坑均匀性较好的硅片，对光线的吸收率也就较高，且在生产过程中采用这样的添液方式，使得生产的连续性较好，生产效率较高，从而可大幅降低生产成本。

主权项

一种太阳能电池硅片的制绒方法，其特征在于：它包括以下步骤：(1)将HF、HNO3和水的混合液、KOH和水的混合液以及HF、HCL和水的混合液分别放入到链式制绒机的第一个槽、第二个槽和第三个槽中，且体积比为：HF:HNO3:水＝1:2.92:2.4，KOH:水＝7:120～160，HF:HCL:水＝4:3～7:10；所述水均为纯水；(2)启动链式制绒机，使得链上的硅片依次通过第一个槽、第二个槽和第三个槽；在第一个槽中每100片硅片通过后，加入HF 260～300ml，加入HNO3 90～140ml；在第二个槽中每100片硅片通过后，加入KOH 5～20ml，加入水50～70ml；在第三个槽中每100片硅片通过后，加入HF 50～90ml，HCL 60～110ml，加入水10～50ml；三个槽中的液体每周更换一次新的。