[发明专利]粉体材料的等离子体掺杂方法在审
| 申请号： | 201610783573.5 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106449343A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张宝顺;肖建忠;宗冰;蔡延国;鲍守珍;郭梅珍;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/223 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙)11368 | 代理人： | 刘玲玲 |
| 地址： | 810007 青*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明属于等离子体掺杂领域，尤其涉及粉体材料的等离子体掺杂方法。其特征是将受主粉体材料加入至等离子体掺杂腔室中，然后向等离子体掺杂腔室导入施主气，通过控制施主气的流量，使受主粉体材料处于稳定流化态，之后，启动激励电源通过介质阻挡放电使施主气活化并形成非平衡等离子体，非平衡等离子体中的活性粒子会进入至受主粉体材料中，完成掺杂，受主粉体材料在电场和磁场作用下活化，其本征性能亦会得到加强。本发明方法工艺简单、灵活度好、掺杂效率高，可以在温和条件下获得掺杂均匀性高、缺陷丰富的粉体材料，其应用前景十分广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 等离子体 掺杂 方法 | ||
【主权项】：
粉体材料的等离子体掺杂方法，其特征在于：将受主粉体材料加入至等离子体掺杂腔室中，然后向等离子体掺杂腔室导入施主气，通过控制施主气的流量，使受主粉体材料处于稳定流化态，之后，启动激励电源通过介质阻挡放电使施主气活化并形成非平衡等离子体，在非平衡等离子体形成的同时，非平衡等离子体中的活性粒子会进入至受主粉体材料中，完成掺杂，受主粉体材料在电场和磁场作用下活化，其本征性能亦会得到加强。
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