[发明专利]MgO掺杂ZnO溅射靶材的制备方法

摘要

MgO掺杂ZnO溅射靶材的制备方法，按比例称取ZnO和MgO粉装入尼龙球磨罐，加入无水乙醇和玛瑙球，在星型球磨机上快速球磨后取出混合粉，筛分出玛瑙球；烘干无水乙醇；填入模具中在高温炉中加热加压；出炉后靶坯加工切片成靶材。将高纯度ZnO粉MgO粉混合热压制备靶材，工艺简单，成本降低，利用其制备的发光材料颗粒均匀，分散性好，具有优良的发光性质，且镁掺杂ZnO的浓度可以调节，从而改变其带宽和绿光波长，可以用于发光二极管和激光器等领域，大大增强其实用性能。

主权项

MgO掺杂ZnO溅射靶材的制备方法，其特征在于，制备方法步骤包括：(1)按比例称取ZnO和MgO粉，粉末纯度大于99.99％，将两种粉装入尼龙球磨罐；(2)在球磨罐中加入无水乙醇和直径大小不一的玛瑙球，ZnO和MgO粉末、玛瑙球以及无水乙醇的重量比是10：16：20；(3)把ZnO粉、MgO粉、无水乙醇和玛瑙球装入尼龙罐并放在星型球磨机上固定好；(4)快速球磨2小时后取出尼龙罐内的混合粉，经过40目筛子分离出玛瑙球；(5)把混合均匀的ZnO粉和MgO粉放进低温烘箱并烘干无水乙醇；(6)烘干的ZnO粉和MgO粉填入一个耐高温、抗压模具中；(7)把模具放在一个充氧化气体的加热加压高温炉中；(8)以10‑20℃/min的加热速度升至1200℃—1400℃，最高温度保持3—7小时，施压速度以0.5—1MPa/min升至10—15MPa，最高压力保持2—6小时；(9)待到保温保压结束后，水冷降温到炉温50℃时打开炉门拖出模具，从模具中取出靶坯，加工切片成靶材。