[发明专利]一种能量均匀分布的超声波/兆声波清洗装置

摘要

本发明公开了一种能量均匀分布的超声波/兆声波清洗装置，在本体内设有超声波/兆声波发生机构和底部石英部件，超声波/兆声波发生机构设有压电材料，底部石英部件设有石英微共振腔阵列，石英微共振腔阵列自本体下端面的开口伸出，可通过石英微共振腔阵列对传播方向与晶圆表面方向不垂直的超声波/兆声波能量进行选择性去除，并通过超声波/兆声波能量控制单元根据实时位置反馈单元从喷淋臂旋转电机采集的本体在晶圆表面的相对位置信息，对信号源输出电信号进行调整，经压电材料转换后，使晶圆表面的任意位置在单位时间内获得同样的超声波/兆声波能量，从而实现整个晶圆范围内超声波/兆声波能量的均匀分布。

主权项

1.一种能量均匀分布的超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，包括：本体，其中空的内部设有超声波/兆声波发生机构和底部石英部件，所述超声波/兆声波发生机构设有压电材料，所述压电材料连接本体外的信号源，所述底部石英部件设有由多个垂直棒状石英结构组成的石英微共振腔阵列，所述石英微共振腔阵列自所述本体下端面的开口伸出；喷淋臂，其受喷淋臂旋转电机驱动，带动本体在晶圆表面作过圆心的圆弧往复运动；实时位置反馈单元，用于采集喷淋臂旋转电机的单位转动角度或单位转动时间，以获取本体在晶圆表面的相对位置信息，并输出反馈信息；超声波/兆声波能量控制单元，连接设于信号源和压电材料之间，用于根据实时位置反馈单元反馈的本体在晶圆表面的相对位置信息，对信号源输出电信号进行调整；其中，所述压电材料接收电信号产生超声波能量，经底部石英部件向下传导，并经石英微共振腔阵列的选择性去除后，通过没入图形晶圆上清洗药液中的所述石英微共振腔阵列的下端面垂直传导至图形晶圆表面，带动清洗药液振荡，以进行超声波/兆声波移动清洗，同时，通过所述超声波/兆声波能量控制单元根据本体在晶圆表面的位置变化，实时调整通过的信号源输出电信号，使电信号的占空比从晶圆中心到晶圆边缘由大逐渐减小，以使晶圆表面的任意位置在单位时间内获得同样数量的超声波/兆声波脉冲信号，或者使电信号的功率从晶圆中心到晶圆边缘由小逐渐增大，以使晶圆表面的任意位置在单位时间内获得同样数量的超声波/兆声波能量，并经压电材料的相应转换，实现整个晶圆范围内超声波/兆声波能量的均匀分布。