[发明专利]一种避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法有效
| 申请号： | 201610703019.1 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN106405372B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 范荣伟;陈宏璘;龙吟;顾晓芳 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/307 |
| 代理公司： | 31275 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，包括：提供经连接孔刻蚀后的晶圆，将所述晶圆传送到电子束扫描仪的扫描腔体中，并进行对准；通过测试确定使晶圆表面保持稳定电势时的缺陷扫描条件；对晶圆表面进行预扫描，并施加形成稳定电势，以提升晶圆表面的电势，降低晶圆表面与电子束扫描仪电极板之间的电势差；选择扫描区域，在晶圆表面保持稳定电势状态下进行缺陷检测。本发明通过预扫描提升晶圆表面电势，降低晶圆表面与电极板之间的电势差，可缓解晶圆表面电荷大量聚集的效应，有效避免电弧放电的发生，并可顺利检测连接孔断路缺陷，从而为半导体在线制造与良率提升提供了有力保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 避免 电子束 扫描 过程 产生 电弧 放电 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤S01：提供经连接孔刻蚀后的晶圆，将所述晶圆传送到电子束扫描仪的扫描腔体中，并进行对准；/n步骤S02：通过测试确定使晶圆表面保持稳定电势时的缺陷扫描条件；所述使晶圆表面保持稳定电势时的缺陷扫描条件是使晶圆表面整体影像保持均匀稳定状态时的对应扫描能量；/n步骤S03：对晶圆表面进行预扫描，并施加形成稳定电势，以提升晶圆表面的电势，降低晶圆表面与电子束扫描仪电极板之间的电势差；预扫描时所需的能量标准是保持晶圆表面的电势稳定，即保证晶圆表面影像的均匀稳定；/n步骤S04：选择扫描区域，在晶圆表面保持稳定电势状态下进行缺陷检测。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610703019.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于FPC钢片的一体化测试系统与方法
- 下一篇：一种主动式测试向量匹配方法
