[发明专利]磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料的制备方法

摘要

磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料的制备方法，属于稀土难熔金属阴极材料技术领域。钼基体中掺杂稀土活性物质La2O3，稀土活性物质添加总量为2.0‑5.0wt％，其余为钼。采用液液掺杂的溶胶凝胶法制备La2O3掺杂MoO3粉末，氧化物粉末经过还原、压型、烧结工艺制备出La2O3掺杂Mo棒。钼棒经旋煅、拉拔、退火、洗丝、绕制、定型、裁断工艺得到未碳化磁控管用La2O3掺杂Mo阴极。对阴极进行高温瞬时碳化工艺处理，得到高碳化度的磁控管用La2O3掺杂Mo丝状阴极材料。对阴极进行高温激活排气及老化处理工艺，得到具有良好发射性能及良好发射稳定性的新型环保无放射性的磁控管用丝状阴极材料。

主权项

一种磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料的制备方法，磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料为钼基体中掺杂稀土La2O3活性物质，其中稀土活性物质La2O3占阴极材料总重量的2‑5wt％，其余为钼；包括以下步骤：将七钼酸铵溶液、硝酸镧溶液和柠檬酸溶液进行混；其中钼和镧的摩尔比对应阴极材料中钼和镧的摩尔比，七钼酸铵：柠檬酸的质量比为1:(0.8‑1.5)；水浴加热，机械搅拌，最终形成干凝胶，将干凝胶分解得到稀土氧化物掺杂氧化钼粉末，氧化物混合粉末经还原得到稀土氧化物掺杂钼粉末；稀土氧化物掺杂钼粉经过压型、烧结工艺得到钼棒，钼棒经旋煅、拉拔、退火、清洗、阴极绕制、定型、碳化、排气激活、老化，即得到磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料，其特征在于：碳化采用高温瞬时的碳化工艺，得到高碳化度的阴极丝材，且采用高温长时的排气激活工艺，以及高温老化工艺，具体特征如下：(1)碳化温度为1600‑1900℃；(2)碳化时间为80‑150s；(3)碳化度为10‑50％；(4)最高排气激活温度为1600‑1900℃；(5)最高排气激活温度保温时间为20‑40min；(6)老化温度为1500‑1800℃。