[发明专利]一种多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚在审
申请号: | 201610700106.1 | 申请日: | 2016-08-23 |
公开(公告)号: | CN106119958A | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 张福军;张伏严;张晓艳 | 申请(专利权)人: | 常熟华融太阳能新型材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 汪旭东 |
地址: | 215500 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于生产高效多晶的内底部局部凸起的石英陶瓷坩埚。克服或缓解了半融工艺以下几个方面的不足,一方面,相对于全融工艺而言半融工艺易出现边缘粘埚,底部融接籽晶工艺不易控制;第二方面,铸锭时长增加,成品率较低,成本明显高于全融。为了解决上述半融工艺中的技术问题,坩埚本体根据底部热场结构局部做成凸起形状。一方面可以减少半融工艺底部籽晶用量;另外一方面可以增加收益率,降低多晶硅生产成本。此外,内底部凸起坩埚可以使铸锭过程中坩埚底部中间温度与边缘温度更加接近,固液界面变得平坦,更利于晶体的竖直生长,减少位错的增殖,从而提高硅锭的整体光电转换效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 石英 陶瓷 坩埚 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚,其特征在于坩埚本体内底部设有一凸起,该凸起为一整体结构,凸起部分与坩埚底部四周之间通过斜坡进行过渡。
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