[发明专利]一种弹簧夹片及弹性夹紧硅片的载具装置

摘要

本发明公开了一种弹簧夹片，弹簧夹片由连接端以及由连接端向外侧延伸的一对弹片构成，两个弹片彼此相对设置，所述弹片在远离连接端的一侧相互靠近，形成夹持部；所述弹片在夹持部沿一定的弧度相互靠近且距离最小的部位不在弹片的端部及公开了一种应用弹簧夹片夹紧硅片的载具装置，所述载具装置由侧板、基座以及弹簧夹片组成；所述基座的两端固定至侧板；所述弹簧夹片卡接在基座中。通过在原子层沉积设备中设置本申请中的装置，使得在获得使用原子层沉积镀膜技术镀高质量薄膜的同时，避免了原子层沉积镀膜技术带来的绕镀问题。

主权项

一种弹簧夹片，其特征在于，弹簧夹片由连接端以及由连接端向外侧延伸的一对弹片构成，两个弹片彼此相对设置，所述弹片在远离连接端的一侧相互靠近，形成夹持部；所述弹片在夹持部沿一定的弧度相互靠近且距离最小的部位不在弹片的端部。