[发明专利]一种自动化沉积工艺有效
| 申请号： | 201610686959.4 | 申请日： | 2009-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN106183374B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | A·巴希尼;M·佳利亚佐 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B41F15/08 | 分类号： | B41F15/08;B41F15/20;H01L21/67;H01L31/0224;H01L31/18;H05K3/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种自动化沉积工艺。本发明实施例一般提供在衬底上丝网印刷图案的装置与方法。在一实施例中，图案化层连同多个对准标记被印刷至衬底的表面上。测量这些对准标记相对于衬底的特征结构的位置，以判定图案化层的实际位置。将实际位置与预期位置作比较以判定图案化层在衬底上的安置的位置误差。使用此信息来调整图案化层在后续多个经处理衬底上的安置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 沉积 工艺 | ||
【主权项】：
一种自动化沉积工艺，包括以下步骤：在衬底支撑件上定位第一衬底，其中所述第一衬底具有至少一个边缘；以一图案将材料层沉积至所述第一衬底的表面上，其中所述图案包括至少两个对准标记；使用系统控制器确定所述至少两个对准标记相对于所述第一衬底的所述至少一个边缘的实际取向及位置，并且计算实际位置与预期位置之间的位置偏差、以及实际取向与预期角度取向之间的角度偏差；及使用所述位置偏差和所述角度偏差的信息，在相对于第二衬底的至少一个边缘的经调整取向或经调整位置上，以一图案将材料层沉积至所述第二衬底的表面上，其中沉积在所述第二衬底上的材料的取向或位置比沉积在所述第一衬底上的材料的取向或位置更接近所述预期取向或所述预期位置。
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