[发明专利]一种自动化沉积工艺有效
| 申请号： | 201610686959.4 | 申请日： | 2009-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN106183374B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | A·巴希尼;M·佳利亚佐 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B41F15/08 | 分类号： | B41F15/08;B41F15/20;H01L21/67;H01L31/0224;H01L31/18;H05K3/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 沉积 工艺 | ||
【说明书】：
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