[发明专利]负型感光树脂组合物

摘要

本发明提供负型感光树脂组合物，其包括：包含特定重复单元的第一碱溶性树脂；包含特定重复单元的第二碱溶性树脂；聚合性化合物；光聚合引发剂；和溶剂，从而在光刻法中表现出优异的图案化能力并使得能够形成具有优异的机械性能、耐久性和对底部衬底的粘合性的图案。

主权项

1.负型感光树脂组合物，包括：第一碱溶性树脂，包含由以下式1表示的重复单元；第二碱溶性树脂，包含由以下式2表示的重复单元；聚合性化合物；光聚合引发剂；和溶剂，[式1]其中，R₁、R₂、R₃和R₄各自独立地为氢或甲基，R₅是从由以下式(1)表示的单体衍生的结构，且R₉是氢或甲基，R₆是从选自由以下的式(2)‑(4)组成的组的单体衍生的结构，R₇是从选自由以下的式(5)‑(7)组成的组的单体衍生的结构，其中X₁是具有1‑12个碳原子的亚烷基，且X₂是具有1‑6个碳原子的烷基，R₈是从选自由(甲基)丙烯酸、2‑(甲基)丙烯酰氧基乙基六氢邻苯二甲酸酯、2‑(甲基)丙烯酰氧基乙基邻苯二甲酸酯和2‑(甲基)丙烯酰氧基乙基琥珀酸酯组成的组的单体衍生的结构，且a＝5‑50mol％，b＝20‑60mol％，c＝10‑50mol％，且d＝5‑30mol％，[式2]其中，R₁₀、R₁₁和R₁₂各自独立地为氢或甲基，R₁₃是从由以下式(8)表示的单体所衍生的结构，且R₁₆是氢或甲基，R₁₄是从选自由(甲基)丙烯酸、2‑(甲基)丙烯酰氧基乙基六氢邻苯二甲酸酯、2‑(甲基)丙烯酰氧基乙基邻苯二甲酸酯和2‑(甲基)丙烯酰氧基乙基琥珀酸酯组成的组的单体衍生的结构，R₁₅是其中R₁₇和R₁₈各自独立地是具有1‑6个碳原子的烷基或具有3‑6个碳原子的环烷基，且“*”表示键合端，且e＝20‑70mol％，f＝10‑50mol％，且g＝10‑50mol％。