[发明专利]梳形致动器在审
| 申请号： | 201610638305.4 | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN106467286A | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 洪昌黎;林大为;蒋铠宇 | 申请（专利权）人： | 先进微系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾台北市内湖区*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种梳形致动器，包括支承基座，设置第一梳形电极及第一表面，第一梳形电极自第一表面延伸；可移动体，依附于支承基座，设置第二梳形电极以及第二表面，第二梳形电极自第二表面延伸，可移动体可绕着一旋转轴作转动并且使第一梳形电极叉合于第二梳形电极；其中，第二梳形电极朝向第一方向延伸，旋转轴朝向第二方向延伸，第一梳形电极朝向第三方向延伸，第一梳形电极的第一侧面与第二表面之间的距离小于第二梳形电极的端面与第二表面之间的第二长度。本发明的梳形致动器可解决可移动体过度的侧向位移或电性短路问题。 | ||
| 搜索关键词： | 梳形致动器 | ||
【主权项】：
1.一种梳形致动器，包括：一支承基座，设置至少一第一梳形电极以及一第一表面，所述至少一第一梳形电极自所述第一表面延伸；以及一可移动体，依附于所述支承基座，设置至少一第二梳形电极以及一第二表面，所述至少一第二梳形电极自所述第二表面延伸，所述可移动体可绕着一旋转轴作转动并且使所述至少一第一梳形电极叉合于所述至少一第二梳形电极；其中，所述至少一第二梳形电极朝向一第一方向延伸，所述旋转轴朝向一第二方向延伸，所述至少一第一梳形电极朝向一第三方向延伸，其特征在于，所述支承基座的所述至少一第一梳形电极的第一侧面与所述第二表面的之间的距离小于所述可移动体的所述至少一第二梳形电极的端面与所述第二表面之间的第二长度，其中所述第一侧面沿着所述第一方向是介于所述至少一第一梳形电极的第二侧面与所述端面之间。
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- 彭飞;谢大智 - 中山大学
- 2021-12-16 - 2022-04-19 - B81B5/00
- 本发明公开了一种自驱动Au‑Zn纳米马达及其制备方法和应用。该自驱动Au‑Zn纳米马达呈管状，长度为3～7μm，外直径为320～500nm，内直径为150～260nm，Au的原子百分比为85～95％，Zn的原子百分比为5～15％。所述马达的推动过程中没有气泡产生，可以避免气泡对自驱动Au‑Zn纳米马达运动的影响。自驱动Au‑Zn纳米马达与被动粒子的相互作用方式在吸引和排斥之间进行切换，可以为生物进化中活性材料的组织行为、凝聚物和细胞组分簇的形成提供新的思路，此外，自驱动Au‑Zn纳米马达还可以应用于生物分子检测和生物信息收集。
- 一种高振型稳定性的MEMS环形谐振器-202110753958.8
- 申强;张学优;刘轩;谢建兵;常洪龙;苑伟政 - 西北工业大学;西北工业大学太仓长三角研究院
- 2021-07-04 - 2021-12-07 - B81B5/00
- 本发明公开了一种高振型稳定性的新型微环形谐振器，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该谐振器由基底层1、器件层2和锚点3构成；所述器件层2由环形谐振子4与包括长梁9、短梁10在内的四组约束梁构成；所述环形谐振子4由4组约束梁分别沿0°、90°、180°、270°方向连接到锚点上，每组梁均沿径线方向与环形谐振子连接；一组约束梁分为轴对称的两支，每支由N支单折叠梁首尾相接构成。本发明使用品质因数和灵敏度较高的圆环作为谐振结构，关键特征在于在其正交方向设置多组约束梁，使谐振器在沿短梁平行方向的刚度远小于其他方向，约束结构沿此方向振动，从而抑制了由加工工艺误差产生的环形质量分布不均所导致的模态振型失稳，显著提高了MEMS环形谐振器模态振型稳定性。
- 镜子组件及其控制方法、调光板-201910244972.8
- 任锦宇;周波;宋勇志 - 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
- 2019-03-28 - 2021-11-16 - B81B5/00
- 一种镜子组件及其控制方法以及调光板，该镜子组件包括：镜片、第一旋转电极和第二旋转电极、第一电极和第二电极、第三电极和第四电极。镜片包括镜面和位于镜面内的旋转轴；第一旋转电极和第二旋转电极在镜面所在平面上的正投影分别位于旋转轴的两侧，且第一旋转电极和第二旋转电极的连线与旋转轴垂直；第一电极和第二电极彼此相对设置以形成第一电场，第一旋转电极位于第一电极和第二电极之间以使第一旋转电极位于第一电场中；第三电极和第四电极彼此相对设置以形成第二电场，第二旋转电极位于第三电极和第四电极之间以使第二旋转电极位于第二电场中；第一旋转电极和第二旋转电极配置为在第一电场和第二电场的作用下旋转以驱动镜片绕旋转轴旋转。镜片可以在电场力的作用下旋转以对入射至镜面上的光进行调节。
- 一种XY宏微运动平台及其末端反馈方法-202110239657.3
- 张揽宇;梁俊朗;高健;陈云;贺云波;陈新 - 广东工业大学
- 2021-03-04 - 2021-11-02 - B81B5/00
- 一种XY宏微运动平台及其末端反馈方法，XY宏微运动平台包括：微调组件、宏驱动组件和位置检测装置；宏驱动组件包括：X向宏驱动单元、Y向宏驱动单元、X向平板和Y向平板；位置检测装置用于获取自身在X轴和Y轴的所在位置。本XY宏微运动平台，采用XY宏微解耦方式，每个轴向上的宏运动部件与微运动部件间设置解耦布置，并在此基础上在X向运动与Y向运动之间进行解耦布置，以使整个系统在XY轴向形成共水平面，以及和宏微之间形成解耦设置，结构上各轴运动互不耦合，无需复杂的坐标变换即可获得所在轴上准确位置；同时，XY宏微运动平台在同一水平面上的运动，降低切向干扰与影响，保障其运动的精密度。
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