[发明专利]一种六维度微振动平台

摘要

本发明涉及一种六维度微振动平台，包括工作台、与工作台相平行的支撑台，以及支撑支撑台的底座，还包括三根RPS支链和设置在底座内、并与支撑台连接的3‑RRR机构。本发明通过3‑RPS支链，使工作台具有绕X、Y方向的转动和Z方向的振动，通过3‑RRR机构，带动工作台X、Y方向振动以及Z方向转动，即实现了工作台六个自由度的运动，具有刚性高、振幅传递稳定、能量吸收少、精度高的优点。

主权项

一种六维度微振动平台，包括工作台、与所述工作台相平行的支撑台，以及支撑所述支撑台的底座，其特征在于：还包括‑三根RPS支链，周向均匀设置在所述工作台与支撑台之间且与所述支撑台之间的夹角为锐角，包括依次连接的上斜块、上部柔性铰链、第一压电陶瓷、下部柔性铰链、调整垫片、下斜块，所述上斜块与工作台连接，所述下斜块与所述支撑台连接，所述上部柔性铰链为球面副柔性铰链，所述下部柔性铰链为转动副柔性铰链；‑3‑RRR机构，设置在所述底座内、并与所述支撑台连接，包括定板，所述定板边沿上以其轴心为中心均匀设有三个直角缺口，各所述直角缺口的其中一侧壁上均通过第一柔性铰链连接有平行于另一侧壁的第一动板，所述第一动板通过第二柔性铰链接连有与其垂直的第二动板，所述第二动板通过第三柔性铰链连接有与所述支撑台连接的驱动块，所述第一动板连接有与所述定板相抵的第二压电陶瓷。