[发明专利]一种薄膜晶体管液晶显示器的TFT加工工艺

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管液晶显示器的TFT加工工艺，所述水清洗后再用超声波清洗，可以除掉玻璃表面的杂质和油污，所述覆光刻胶时的温度以及湿度的确定，可以使胶与玻璃表面黏附良好，减少其脱落现象和出现图形缺陷的问题，所述曝光前先打开曝光机的紫外线预热稳定，可以增加其曝光效率，所述酸液为HCl、HNO3和水的混合液，可以起到腐蚀掉ITO膜，但不损坏玻璃和光刻胶的作用，所述刻蚀的温度和时间的确定，可以提高刻蚀效果。采用此种加工工艺加工出来的薄膜晶体管液晶显示器的TFT具有生产效率好和开口率高的优点，市场潜力巨大，前景广阔。

主权项

一种薄膜晶体管液晶显示器的TFT加工工艺，其特征在于，包括如下步骤：（1）玻璃基板的清洗首先将玻璃基板用甲苯和油脂清洗，接着用丙酮清洗残余油脂和甲苯，然后再用乙醇溶解玻璃基板；表面的丙酮，最后用水清洗玻璃基板；（2）烘干清洗完毕后要将玻璃基板；置于净化烘箱中进行加热，所述净化烘箱的温度为110‑120℃，所述烘干的时间为1‑3h；（3）覆光刻胶接着调整光刻胶的粘度，然后通过胶辊将调整粘度的光刻胶均匀的涂在玻璃基板上；（4）再烘干接着将玻璃基板用红外线照射，照射的范围为从玻璃交界面开始到两侧，所述烘干的时间为20‑40min；（5）曝光将光刻板放置于版框上通过显微镜初对位，光刻板两侧标记与显微镜十字叉丝重合后锁紧定版夹，初调好的版框图形面向下放在曝光机框，接着在框架上取烘干后玻璃基板，脚面朝上放在曝光平台，用定位销定位；（6）显影将曝光后的玻璃基板置于显影槽中，显影液通过摇摆的喷头喷洒上去，显现图形后，接着玻璃基板通过水洗将显影液冲洗干净；（7）刻蚀用酸液将ITO膜腐蚀掉，得到相应的ITO电极图形，接着通过丝印、取向膜的印刷和喷洒垫料后形成TFT。