[发明专利]一种用于沉积装置的下极板及沉积装置

摘要

本发明提供一种用于沉积装置的下极板及沉积装置，涉及显示技术领域，可提高产品品质，降低生产成本。该下极板包括第一子极板和第二子极板，第二子极板位于第一子极板的下方；第一子极板包括间隔设置的多个第一凸起，任意相邻第一凸起之间设置有第一槽孔；第二子极板包括与第一槽孔一一对应的第二凸起；第二凸起穿过第一槽孔与第一凸起的上表面齐平，且第一凸起与第二凸起的上表面拼接在一起，用于承载待沉积薄膜的基板；第二子极板还包括多个第二槽孔，第二槽孔设置在相邻第二凸起之间，用于使支撑柱穿过，以使第一子极板和第二子极板分离；其中，第一凸起和第二凸起内具有加热结构。用于显示装置制造过程中的薄膜沉积工艺。

主权项

一种用于沉积装置的下极板，其特征在于，包括第一子极板和第二子极板，所述第二子极板位于所述第一子极板的下方；所述第一子极板包括间隔设置的多个第一凸起，任意相邻所述第一凸起之间设置有第一槽孔；所述第二子极板包括与所述第一槽孔一一对应的第二凸起；所述第二凸起穿过所述第一槽孔与所述第一凸起的上表面齐平，且所述第一凸起与所述第二凸起的上表面拼接在一起，用于承载待沉积薄膜的基板；所述第二子极板还包括多个第二槽孔，所述第二槽孔设置在相邻所述第二凸起之间，用于使支撑柱穿过，以使所述第一子极板和所述第二子极板分离；其中，所述第一凸起和所述第二凸起内具有加热结构。