[发明专利]一种用于沉积装置的下极板及沉积装置

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种用于沉积装置的下极板及沉积装置。

背景技术

沉积装置广泛的应用于TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)、薄膜太阳能等产品的制造中，用于在基板上沉积薄膜。

沉积装置包括密闭腔室以及设置在密闭腔室内的上极板和下极板。现有技术中，如图1(a)和1(b)所示，下极板01上设置有支撑杆(Pin)03，支撑杆03由杆体032和杆帽031组成，支撑杆03的杆体032贯穿下极板01，通过杆帽031悬挂在下极板01上。其中，下极板01上的支撑杆03分别设置在下极板01的外围区域和中心区域，外围区域的支撑杆01的杆体032和杆帽031均由受热影响较小的陶瓷材料制成，中心区域的支撑杆03的杆帽031由导热和导电性能较好的材料制成，杆体032由受热影响较小的陶瓷材料制成。在沉积过程中，下极板01需保持零电位(通过将下极板01接地来实现)、为工艺提供热源(通过在下极板01中设置加热结构来实现)以及承载待沉积薄膜的基板02并将其移动到工艺位置进行薄膜沉积。

现有技术中沉积装置的工作过程为：电机控制下极板01向下移动，支撑杆03接触腔室底部后，下极板01继续向下移动，此时下极板01与杆帽031分离，等到杆帽031与下极板01达到一定高度差之后，下极板01停止移动，机械手将待沉积薄膜的基板02放置在杆帽031上后，电机控制下极板01向上移动，支撑杆03悬挂在下极板01上，使待沉积薄膜的基板02与下极板01贴合，下极板01继续向上移动，达到工艺位置后，下极板01停止移动。之后，通过上极板和下极板01之间电场的作用，在待沉积薄膜的基板02上进行薄膜沉积。然后，重复下极板01向下移动的过程，机械手先取出沉积薄膜后的基板02，再将新的待沉积薄膜的基板02置于杆帽031上，重复下极板01向上移动的过程和沉积过程，以完成对基板02的薄膜沉积工艺。

然而，虽然中心区域的杆帽031由导热和导电性能较好的材料制成，但是有杆帽031区域与无杆帽031区域的温度相差仍较大，使得沉积后的基板02上容易产生光晕(Mura)，从而影响产品的品质。此外，由于导热和导电性能较好的材料硬度欠佳，导致使用过程中会有颗粒(Particle)脱落或者杆帽031直接脱落，而脱落后的颗粒或杆帽031会粘附在基板02上，影响基板02的透过率，从而影响产品的品质。再者，由于杆体032是由陶瓷材料制成，导致使用过程中杆体032易发生断裂，需要定期更换支撑杆03，从而增加生产成本。

发明内容

本发明的实施例提供一种用于沉积装置的下极板及沉积装置，可提高产品品质，降低生产成本。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

第一方面，提供一种用于沉积装置的下极板，包括第一子极板和第二子极板，所述第二子极板位于所述第一子极板的下方；所述第一子极板包括间隔设置的多个第一凸起，任意相邻所述第一凸起之间设置有第一槽孔；所述第二子极板包括与所述第一槽孔一一对应的第二凸起；所述第二凸起穿过所述第一槽孔与所述第一凸起的上表面齐平，且所述第一凸起与所述第二凸起的上表面拼接在一起，用于承载待沉积薄膜的基板；所述第二子极板还包括多个第二槽孔，所述第二槽孔设置在相邻所述第二凸起之间，用于使支撑柱穿过，以使所述第一子极板和所述第二子极板分离；其中，所述第一凸起和所述第二凸起内具有加热结构。

优选的，所述第二凸起的靠近上表面的部分与所述第一凸起的靠近上表面的部分接触，以使所第二凸起与所述第一凸起的上表面拼接在一起；所述第一子极板与所述第二子极板的其余部分之间均具有间隙。

进一步优选的，所述第二凸起与所述第一凸起的接触面为楔形面。

优选的，所述间隙的宽度为5～8mm。

优选的，所述第一凸起为条形且沿第一方向延伸，多个所述第一凸起沿第二方向间隔设置；其中，所述第一方向与所述第一子极板中一对平行边的方向相同，所述第二方向与所述第一子极板中另一对平行边的方向相同。

优选的，所述第二槽孔的个数为4～8个。