[发明专利]一种用于沉积装置的下极板及沉积装置

权利要求书

1.一种用于沉积装置的下极板，其特征在于，包括第一子极板和第二子极板，所述第二子极板位于所述第一子极板的下方；

所述第一子极板包括间隔设置的多个第一凸起，任意相邻所述第一凸起之间设置有第一槽孔；

所述第二子极板包括与所述第一槽孔一一对应的第二凸起；所述第二凸起穿过所述第一槽孔与所述第一凸起的上表面齐平，且所述第一凸起与所述第二凸起的上表面拼接在一起，用于承载待沉积薄膜的基板；

所述第二子极板还包括多个第二槽孔，所述第二槽孔设置在相邻所述第二凸起之间，用于使支撑柱穿过，以使所述第一子极板和所述第二子极板分离；

其中，所述第一凸起和所述第二凸起内具有加热结构。

2.根据权利要求1所述的下极板，其特征在于，所述第二凸起的靠近上表面的部分与所述第一凸起的靠近上表面的部分接触，以使所第二凸起与所述第一凸起的上表面拼接在一起；

所述第一子极板与所述第二子极板的其余部分之间均具有间隙。

3.根据权利要求2所述的下极板，其特征在于，所述第二凸起与所述第一凸起的接触面为楔形面。

4.根据权利要求2所述的下极板，其特征在于，所述间隙的宽度为5～8mm。

5.根据权利要求1所述的下极板，其特征在于，所述第一凸起为条形且沿第一方向延伸，多个所述第一凸起沿第二方向间隔设置；

其中，所述第一方向与所述第一子极板中一对平行边的方向相同，所述第二方向与所述第一子极板中另一对平行边的方向相同。

6.根据权利要求1所述的下极板，其特征在于，所述第二槽孔的个数为4～8个。

7.根据权利要求1-6任一项所述的下极板，其特征在于，还包括：位于所述第一子极板远离所述第一凸起一侧的第一线管，以及位于所述第二子极板远离所述第二凸起一侧的第二线管；

所述第一线管与所述第一子极板为一体结构，所述第二线管与所述第二子极板为一体结构；

所述第一线管用于放置与所述第一凸起内的所述加热结构连接的走线，所述第二线管用于放置与所述第二凸起内的所述加热结构连接的走线；

其中，所述第二线管包围所述第一线管，且所述第一线管与所述第二线管之间设置密封结构。

8.一种沉积装置，其特征在于，包括：密闭腔室以及设置在所述密闭腔室中的权利要求1-7任一项所述的下极板；

还包括设置在所述密闭腔室底部的支撑柱，所述支撑柱与第二子极板上的第二槽孔一一对应。

9.根据权利要求8所述的沉积装置，其特征在于，还包括用于控制所述第二子极板上下移动的电机。

10.根据权利要求8或9所述的沉积装置，其特征在于，所述沉积装置为等离子体化学气象沉积装置。