[发明专利]一种用于区熔检验硅棒切割的粘贴结构及方法

摘要

本发明公开了一种用于区熔检验硅棒切割的粘贴结构及方法，该粘贴结构包括石墨板，其一面用于与固定板粘接，另一面的中部设有与长边平行的凹槽，凹槽上通过粘接剂粘贴待切割的硅棒。具体操作时，将固定板加热，用石蜡粘贴石墨板，待石墨板的温度升高后，在石墨板的凹槽内涂抹石蜡，并将待切割的硅棒平放于凹槽处，冷却，待石蜡完全凝固后，将固定板装载到切割台夹具处，即可进行检验硅棒的切割操作。其采用的石墨板中石墨质软有滑腻感，比玻璃容易加工，待测试的硅棒小，质量轻，石蜡的熔点为110摄氏度左右，加热、冷却快，石蜡的附着力足够支撑待切割的硅棒重量，非常适合小尺寸检验棒的切割粘贴用；能有效缩短粘接时间；降低硅棒、硅片脱落风险，提高后续测试效率。

主权项

1.一种用于区熔检验硅棒切割的粘贴结构，其特征在于：切割时采用内圆切割刀片进行切割，包括石墨板（1），其一面用于与固定板粘接，另一面的中部设有与长边平行的凹槽（2），凹槽上通过粘接剂粘贴有待测试的硅棒（3）；所述的粘接剂为石蜡，且石墨板（1）与固定板之间也采用石蜡进行粘接；所述待测试的硅棒（3）的直径为13mm±2mm；所述凹槽的截面的圆弧对应的硅棒半径圆心角的角度为70度；所述凹槽（2）的截面为圆弧形，凹槽最深处与石墨板凹槽开口面的距离与待测试硅棒直径的比例为1:10。