[发明专利]一种基于碳化铝制备氮化铝粉体的方法及其产品

摘要

本发明属于无机非金属粉体的制备方法领域，并公开了一种基于碳化铝制备氮化铝粉体的方法及其产品，包括：(a)将适量微米铝粉和微米碳粉均匀混合，置于惰性气氛中加热至预定温度，保温一段时间，使之反应生成碳化铝；(b)将碳化铝在流动的氨气或氮气中加热至预定温度并保温一段时间，在高温环境下碳化铝与氨气或氮气反应，生成氮化铝。通过本发明，可以在相对较低的温度下制备出氮化铝粉体，所制备出的粉体纯度高、粒径小且粒度分布均匀，导热率高并且具有优良的热学性能和机械性能，可在集成电路的基片材料等领域大规模应用。

主权项

1.一种基于碳化铝制备氮化铝粉体的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：（a）将铝粉和碳粉混合置于惰性气体中，然后加热反应，生成粉末状的碳化铝中间产物，其中碳粉和铝粉的质量比设定为2.25～3：1～2，反应温度设定为600℃～1300℃，反应时间设定为1h～8h；（b）将中间产物碳化铝置于氮源中，然后加热反应，由此制得所需的氮化铝粉体，其中反应温度设定为600℃～1300℃，反应时间设定为1h～10h，以此方式实现氮向中间产物碳化铝内部的渗透，最终生成所需的氮化铝；这样可避免铝粉颗粒在高温下融化，阻碍由于氮源的扩散而造成的反应不完全，并有效提高最终产物中氮化铝的含量。