[发明专利]一种螺旋线行波管用一体化高频结构及该高频结构的制备方法有效
| 申请号： | 201610554731.X | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN106128915B | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 李莉莉;丁明清;陈波;蔡军;陆麒如;冯进军 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十二研究所 |
| 主分类号： | H01J23/42 | 分类号： | H01J23/42;H01J9/00 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司11257 | 代理人： | 王喆,张文祎 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种螺旋线行波管用一体化高频结构及该高频结构的制备方法，所述高频结构包括螺旋线、夹持杆和管壳；在与所述螺旋线相对应的所述夹持杆的内侧壁上设有通过曝光光刻并金属化的第一金属化镀层，所述螺旋线的外侧壁与所述夹持杆的内侧壁上的第一金属化镀层通过压力扩散焊连接；所述夹持杆的外侧壁与所述管壳的内侧壁连接固定。本发明所提供的螺旋线行波管用高频结构，减少了夹持杆、螺旋线和管壳三者之间的接触热阻，改善了行波管的散热性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 螺旋线 行波 管用 一体化 高频 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种螺旋线行波管用一体化高频结构的制备方法，其特征在于，所述高频结构包括螺旋线、夹持杆和管壳；在与所述螺旋线相对应的所述夹持杆的内侧壁上设有通过曝光光刻并金属化的第一金属化镀层，所述螺旋线的外侧壁与所述夹持杆的内侧壁上的第一金属化镀层通过压力扩散焊连接；所述夹持杆的外侧壁与所述管壳的内侧壁连接固定；所述制备方法包括如下步骤：S1、与所述螺旋线相对应的夹持杆内侧壁曝光光刻，并得到焊点图形；S2、图形化后的夹持杆内侧壁金属化，得到第一金属化镀层；S3、夹持杆内侧壁去除剩余光刻胶；S6、利用定位模具将螺旋线、夹持杆和管壳进行组装和定位；S7、利用挤压法将螺旋线和夹持杆装配至管壳内；并通过压力扩散焊连接获得一体化高频结构。
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