[发明专利]红外线影像感测器组件及其制造方法

摘要

本发明揭露一种红外线影像感测器组件及其制造方法。红外线影像感测器组件包含至少一III‑V族化合物层于半导体基板上，其中III‑V族化合物层自图案中曝露的部分作用为主动像素区以探测入射红外线。红外线影像感测器组件包含至少一晶体管耦接至主动像素区，且通过主动像素区产生的电荷被传送至晶体管。

主权项

1.一种红外线影像感测器组件，其特征在于，包含：一半导体基板；一主动像素区，配置于该半导体基板上，用于接收一红外线，其中该主动像素区由一III‑V族化合物材料组成；以及一晶体管，耦接至该主动像素区，其中该晶体管包含：一经掺杂的III‑V族化合物区；一栅极金属堆叠，配置在该经掺杂的III‑V族化合物区上；以及二欧姆金属接触点，配置于该栅极金属堆叠的相对侧，其中所述欧姆金属接触点的一者耦接至该主动像素区。