[发明专利]靶材的加工方法在审
| 申请号： | 201610539911.0 | 申请日： | 2016-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN107570964A | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李健成 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 安徽省合肥市新站区东方大道与大禹路*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材的加工方法，包括提供靶坯，包括溅射面、与溅射面相对的焊接面，以及位于溅射面和焊接面之间的侧面；对靶坯溅射面进行平面加工工艺；对靶坯侧面进行侧面加工工艺；其中，所述平面加工工艺和所述侧面加工工艺均包括多次切削。本发明在进行平面加工工艺和侧面加工工艺时，所述平面加工工艺和所述侧面加工工艺均包括多次切削。本发明增加了切削的刀数，使进给量和每一刀的吃刀量相应减小，和采用较少切削刀数的方案相比，本发明可以减小加工过程中刀具对靶材的切削力，从而减小靶材内部内应力的释放，以减小靶材的变形程度；且切削力的减小还可以减小靶材加工时的振动量，进而提高靶材的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材的加工方法，其特征在于，包括：提供靶坯，所述靶坯包括溅射面、与所述溅射面相对的焊接面，以及位于所述溅射面和焊接面之间的侧面；对所述靶坯溅射面和焊接面进行平面加工工艺；对所述靶坯侧面进行侧面加工工艺；其中，所述平面加工工艺和所述侧面加工工艺均包括多次切削。
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