[发明专利]靶材的加工方法

权利要求书

1.一种靶材的加工方法，其特征在于，包括：

提供靶坯，所述靶坯包括溅射面、与所述溅射面相对的焊接面，以及位于所述溅射面和焊接面之间的侧面；

对所述靶坯溅射面和焊接面进行平面加工工艺；

对所述靶坯侧面进行侧面加工工艺；

其中，所述平面加工工艺和所述侧面加工工艺均包括多次切削。

2.如权利要求1所述的靶材的加工方法，其特征在于，所述平面加工工艺和侧面加工工艺均为铣削加工工艺。

3.如权利要求2所述的靶材的加工方法，其特征在于，所述平面加工工艺依次包括：平面粗加工工艺、平面半精加工工艺和平面精加工工艺，所述平面粗加工工艺、平面半精加工工艺和平面精加工工艺均包括多次铣削。

4.如权利要求3所述的靶材的加工方法，其特征在于，垂直于所述溅射面的方向为第一方向，所述平面粗加工工艺的步骤包括：采用直径为200毫米至300毫米的第一盘刀，主轴转速为1000转每秒至1400转每秒，在所述溅射面或焊接面上的进给量为600毫米每分钟至700毫米每分钟，沿第一方向的吃刀量为0.18毫米至0.22毫米。

5.如权利要求3所述的靶材的加工方法，其特征在于，垂直于所述溅射面的方向为第一方向，所述平面半精加工工艺的步骤包括：采用直径为200毫米至300毫米的第二盘刀，主轴转速为1000转每秒至1400转每秒，在所述溅射面或焊接面上的进给量为400毫米每分钟至600毫米每分钟，沿第一方向的吃刀量为0.08毫米至0.12毫米。

6.如权利要求3所述的靶材的加工方法，其特征在于，垂直于所述溅射面的方向为第一方向，所述平面精加工工艺的步骤包括：采用直径为200毫米至300毫米的第三盘刀，主轴转速为1000转每秒至1400转每秒，在所述溅射面或焊接面上的进给量为40毫米每分钟至60毫米每分钟，沿第一方向的吃刀量为0.04毫米至0.06毫米。

7.如权利要求6所述的靶材的加工方法，其特征在于，所述平面精加工工艺采用的第三盘刀为金刚石刀片。

8.如权利要求2所述的靶材的加工方法，其特征在于，所述侧面加工工艺为精铣外形工艺。

9.如权利要求8所述的靶材的加工方法，其特征在于，垂直于所述溅射面的方向为第一方向，所述侧面加工工艺的步骤包括：采用直径为18毫米至22毫米的钨钢铣刀，主轴转速为3500转每秒至4500转每秒，在所述侧面上的进给量为1800毫米每分钟至2200毫米每分钟，垂直于第一方向的吃刀量为0.4毫米至0.6毫米。

10.如权利要求3所述的靶材的加工方法，其特征在于，所述侧面加工工艺在所述平面精加工工艺之前进行。

11.如权利要求3所述的靶材的加工方法，其特征在于，所述侧面加工工艺在所述平面粗加工工艺和平面半精加工工艺之间进行。

12.如权利要求1所述的靶材的加工方法，其特征在于，在进行所述平面加工工艺和侧面加工工艺时，采用工业酒精进行冷却。

13.如权利要求1所述的靶材的加工方法，其特征在于，所述靶坯的形状为长方形。

14.如权利要求1所述的靶材的加工方法，其特征在于，所述靶坯的材料为铜。