[发明专利]靶材辅助配件的加工方法有效
| 申请号： | 201610524118.3 | 申请日： | 2016-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN107570963B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;张良进 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P13/02 | 分类号： | B23P13/02;B23Q3/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材辅助配件的加工方法，包括：提供待加工件；对所述第一端面进行第一机械处理；在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；在所述凹槽内设置垫块；设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具；设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。在第二机械处理和第三机械处理过程中，所述垫块和所述辅助夹具分别起到支撑作用，能过有效降低所述底壳和所述斜壁发生扭曲变形的可能。 | ||
| 搜索关键词： | 辅助 配件 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材辅助配件的加工方法，其特征在于，包括：提供待加工件，所述待加工件包括相背设置的第一端面和第二端面；对所述第一端面进行第一机械处理，去除第一端面内部分待加工件材料，在所述第一端面中形成凹槽，剩余待加工件构成壳体；所述壳体包括围成所述凹槽的底壳、以及位于所述底壳边缘区域且凸出于所述底壳的侧壁，所述底壳具有朝向所述凹槽的底面，所述侧壁具有背向所述凹槽的外周面；在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；在所述凹槽内设置垫块；设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料，以减薄所述底壳和所述侧壁，分别形成吸附面和斜壁；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具，使所述辅助夹具通过所述连接孔与所述底壳固定连接；设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。
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