[发明专利]靶材辅助配件的加工方法有效
| 申请号: | 201610524118.3 | 申请日: | 2016-07-04 |
| 公开(公告)号: | CN107570963B | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
| 发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;张良进 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号: | B23P13/02 | 分类号: | B23P13/02;B23Q3/06;C23C14/34 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 高静;吴敏 |
| 地址: | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 辅助 配件 加工 方法 | ||
1.一种靶材辅助配件的加工方法,其特征在于,包括:
提供待加工件,所述待加工件包括相背设置的第一端面和第二端面;
对所述第一端面进行第一机械处理,去除第一端面内部分待加工件材料,在所述第一端面中形成凹槽,剩余待加工件构成壳体;所述壳体包括围成所述凹槽的底壳、以及位于所述底壳边缘区域且凸出于所述底壳的侧壁,所述底壳具有朝向所述凹槽的底面,所述侧壁具有背向所述凹槽的外周面;
在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔;
在所述凹槽内设置垫块;
设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料,以减薄所述底壳和所述侧壁,分别形成吸附面和斜壁;
在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具,使所述辅助夹具通过所述连接孔与所述底壳固定连接;
设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。
2.如权利要求1所述的加工方法,其特征在于,所述辅助夹具包括第一固定件、第二固定件和锁紧件,所述第一固定件具有第一面,所述第二固定件具有第二面;
在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具的步骤包括:
使所述第一固定件的第一面与吸附面相对贴合,使所述第二固定件的第二面与所述底面相对贴合;
使所述锁紧件穿过所述连接孔并锁紧所述第一固定件、底壳和所述第二固定件。
3.如权利要求2所述的加工方法,其特征在于,所述第一固定件和所述第二固定件上设置有相对应的螺孔,所述螺孔与所述连接孔相对应;所述螺孔内具有内螺纹;所述锁紧件为表面具有外螺纹的螺栓,所述外螺纹与所述螺孔内的内螺纹相对应,
实现所述第一固定件和所述第二固定件锁紧的步骤包括,使所述螺栓穿过所述第二固定件上的螺孔以及所述连接孔,通过螺旋方式与所述第一固定件上的螺孔连接,实现所述第一固定件和所述第二固定件的锁紧。
4.如权利要求1所述的加工方法,其特征在于,在所述壳体内设置垫块的步骤中,所述垫块的材料为铝或不锈钢。
5.如权利要求1所述的加工方法,其特征在于,进行第一机械处理的步骤中,所述侧壁包括与所述底壳相连的楔形壁以及与所述楔形壁相连的直壁;
进行第二机械处理的步骤中,去除所述楔形壁厚度较大位置处的部分材料,使所述楔形壁背向所述凹槽的表面与朝向所述凹槽的表面平行,形成斜壁;
进行第三机械处理的步骤中,去除所述直壁。
6.如权利要求5所述的加工方法,其特征在于,所述垫块包括第二支撑部和凸出于所述第二支撑部中心区域的第一支撑部,沿平行于所述底面的方向上,所述第二支撑部的尺寸大于所述第一支撑部的尺寸,所述第一支撑部具有朝向所述第二支撑部的第三面以及与所述第三面相背的第四面;
在所述凹槽内设置垫块的步骤包括:使所述第一支撑部的第四面与所述底面贴合,并使所述第一支撑部与所述楔形壁的位置相对应且使所述第二支撑部与所述直壁的位置相对应。
7.如权利要求6所述的加工方法,其特征在于,在所述凹槽内设置垫块的步骤中,所述第二支撑部与所述直壁之间的空隙在5丝到15丝范围内。
8.如权利要求1所述的加工方法,其特征在于,采用车削的方式进行所述第一机械处理、形成所述连接孔、所述第二机械处理或所述第三机械处理中的一个或多个。
9.如权利要求8所述的加工方法,其特征在于,所述第一机械处理的步骤中,采用内孔刀对所述第一端面进行车削以实现所述第一机械处理;
形成连接孔的步骤中,采用内孔刀在所述底壳内形成所述连接孔。
10.如权利要求9所述的加工方法,其特征在于,进行第一机械处理或形成连接孔的步骤中,切削速度在60m/min到100m/min范围内,进给量在0.05mm/r到0.1mm/r范围内,吃刀量在0.1mm到0.2mm范围内。
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