[发明专利]一种纳米材料力学性能原位测试系统及方法

摘要

本发明提供了一种纳米材料力学性能原位测试系统，包括扫描电子显微镜，扫描探针测试单元，控制单元以及计算机；扫描探针测试单元包括底座，设于底座上表面一侧的调节台，设于底座上表面另一侧的测量机构；扫描电子显微镜包括电镜极靴，调节台上设有样品台，X轴调节装置、Y轴调节装置，Z轴调节装置；测量机构包括激光光路调节装置，设于底座上的探针基座，以及设于探针基座上的探针，探针位于电镜极靴下方，激光光路调节装置用于准直和聚焦激光。本发明真正意义上实现了扫描电子显微镜原位观察测试过程中扫描探针与样品的作用过程以及外场物理力学作用下样品微结构的演变过程，并将系列事件的微观图像和力学性能测试数据传输到计算机的功能。

主权项

一种纳米材料力学性能原位测试系统，其特征在于，包括扫描电子显微镜，设于所述扫描电子显微镜的样品室内部的扫描探针测试单元，与所述扫描电子显微镜和所述扫描探针测试单元相连接的控制单元，以及与所述控制单元连接的计算机；所述扫描探针测试单元包括底座，设于所述底座上表面一侧的调节台，设于所述底座上表面另一侧的测量机构；所述扫描电子显微镜包括电镜极靴，所述调节台上设有样品台，能使所述样品台沿所述调节台长度方向移动的X轴调节装置、能使所述样品台沿垂直于所述调节台长度方向且垂直于所述底座上表面的方向移动的Y轴调节装置，以及能使样品台沿垂直于所述调节台的长度方向且平行于所述底面上表面的方向移动的Z轴调节装置；X轴平行于所述调节台长度方向且平行于所述底座上表面，Y轴垂直于所述调节台长度方向且垂直于所述底座的上表面，Z轴垂直于调节台长度方向且平行于所述底座上表面，所述样品台表面位于所述X轴与所述Y轴构成的平面内；所述测量机构包括激光光路调节装置，设于底座上的探针基座，以及设于所述探针基座上的探针，所述探针位于所述电镜极靴下方，所述激光光路调节装置用于准直和聚焦激光。