[发明专利]一种硅片清洗液配方在审
| 申请号： | 201610511084.4 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107557173A | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 崔敏娟 | 申请（专利权）人： | 崔敏娟 |
| 主分类号： | C11D1/22 | 分类号： | C11D1/22;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/04;C11D3/60 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 214177 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种硅片清洗液配方，由以下重量份数的原料制成柠檬酸1～3份，十二烷基苯磺酸钠15～25份，乙醇6～10份，三乙醇胺3～5份，双氧水1～3份，其余为水。所述一种硅片清洗液配方简单易操作，具有去污力强、清洗效果好的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 配方 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗液配方，其特征在于：由以下重量份数的原料制成：柠檬酸1～3份，十二烷基苯磺酸钠15～25份，乙醇6～10份，三乙醇胺3～5份，双氧水1～3份，其余为水。
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