[发明专利]一种工件台锁定限位装置和采用该装置的工件台有效
| 申请号： | 201610510840.1 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107561869B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 丛国栋;李志龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工件台锁定限位装置和采用该装置的工件台，该工件台锁定限位装置包括：安装在支架上的驱动组件、与所述驱动组件的活动端连接的插销和开设在防撞模块上的插销孔，所述插销孔与所述插销间隙配合，其中，所述插销孔和插销为圆弧形或者直线形。本发明可将上下片时硅片台的自由度限制在安全范围内，保护对准系统各元器件的安全，并可在极端情况硅片台异常运动时，减缓硅片台上各精密元器件所受冲击，防止损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 锁定 限位 装置 采用 | ||
【主权项】：
1.一种工件台锁定限位装置，其特征在于，包括：安装在支架上的驱动组件、与所述驱动组件的活动端连接的插销和开设在防撞模块上的插销孔，所述插销孔与所述插销间隙配合，其中，所述防撞模块安装于所述工件台的粗动台上；所述插销孔和插销为圆弧形；或者所述插销孔和插销为直线形，将直线形插销和直线形插销孔共称为直线销组件，所述直线销组件至少为对称设置的两组，且所述两组直线销组件之间存在夹角。
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