[发明专利]一种工件台锁定限位装置和采用该装置的工件台

说明书

本发明公开了一种工件台锁定限位装置和采用该装置的工件台，该工件台锁定限位装置包括：安装在支架上的驱动组件、与所述驱动组件的活动端连接的插销和开设在防撞模块上的插销孔，所述插销孔与所述插销间隙配合，其中，所述插销孔和插销为圆弧形或者直线形。本发明可将上下片时硅片台的自由度限制在安全范围内，保护对准系统各元器件的安全，并可在极端情况硅片台异常运动时，减缓硅片台上各精密元器件所受冲击，防止损坏。

技术领域

本发明涉及集成电路装备制造领域，特别涉及一种工件台锁定限位装置和采用该装置的工件台。

背景技术

磁浮双工件台光刻机是在一套光刻系统里设置两个硅片台(工件台)，所述两个硅片台通过磁场悬浮在磁钢阵列上，并与磁钢阵列保持毫米级间隙，两硅片台分别位于曝光位置和测量位置，独立且同时运行。具体地，一个硅片台在曝光位置进行步进扫描曝光时，另外一个硅片台则在测量位置完成硅片的上下片、硅片三维形貌测量等准备工作，当一个硅片台完成整个硅片的曝光后，两硅片台交换位置和职能，如此循环往复完成硅片的高效曝光。

然而，当硅片台在测量位置进行上下片操作时，硅片台可能异常运动，碰撞对准测量元器件，造成对准系统的损坏。

发明内容

本发明提供一种工件台锁定限位装置和采用该装置的工件台，用于将下片时工件台的自由度限制在安全范围内，保护对准系统中各元器件的安全。

为解决上述技术问题，本发明提供一种工件台锁定限位装置，包括：安装在支架上的驱动组件、与所述驱动组件的活动端连接的插销和开设在防撞模块上的插销孔，所述插销孔与所述插销间隙配合，其中，所述插销孔和插销为圆弧形或者直线形。

作为优选，所述插销孔和插销为圆弧形时，与所述插销孔对应的圆和与所述插销对应的圆为全等同心圆。

作为优选，所述驱动组件采用摆动气缸，所述摆动气缸的活塞与所述插销的一端固接。

作为优选，所述驱动组件包括直线气缸、与所述直线气缸的活塞连接的滑块以及与所述滑块对应的导轨，其中，所述滑块与所述插销的一端固接，所述导轨为与所述插销以及插销孔向对应的圆弧形。

作为优选，所述直线气缸的固定端与所述支架铰接。

作为优选，将直线形插销和直线形插销孔共称为直线销组件，所述直线销组件至少为对称设置的两组，且所述两组直线销组件之间存在夹角。

作为优选，所述驱动组件采用直线气缸，所述直线气缸的活塞通过连杆组件同时控制两组所述直线形插销。

作为优选，所述连杆组件通过直线滑块与所述直线形插销的一端连接，所述支架上还设置有与所述直线滑块对应的直线导轨。

作为优选，所述驱动组件采用直线气缸，且所述直线气缸同样为对称设置的两组。

作为优选，所述的工件台锁定限位装置还包括第三组直线销组件，该三组直线销组件与防撞模块之间的夹角各不相同。

本发明还公开了一种工件台，包括：支架、与所述支架连接的磁钢阵列，与所述磁钢阵列对应设置的线缆、安装在所述线缆上的粗动台以及安装在所述粗动台上的防撞模块，其特征在于，还包括工件台锁定限位装置。

与现有技术相比，本发明的工件台锁定限位装置，包括：安装在支架上的驱动组件、与所述驱动组件的活动端连接的插销和开设在防撞模块上的插销孔，所述插销孔与所述插销间隙配合，其中，所述插销孔和插销为圆弧形或者直线形。本发明可将上下片时硅片台的自由度限制在安全范围内，保护对准系统各元器件的安全，并可在极端情况硅片台异常运动时，减缓硅片台上各精密元器件所受冲击，防止损坏。

附图说明

图1为本发明实施例1中工件台锁定限位装置的初始位置俯视图；