[发明专利]一种工件台锁定限位装置和采用该装置的工件台有效
申请号: | 201610510840.1 | 申请日: | 2016-06-30 |
公开(公告)号: | CN107561869B | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 丛国栋;李志龙 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工件 锁定 限位 装置 采用 | ||
1.一种工件台锁定限位装置,其特征在于,包括:安装在支架上的驱动组件、与所述驱动组件的活动端连接的插销和开设在防撞模块上的插销孔,所述插销孔与所述插销间隙配合,
其中,所述防撞模块安装于所述工件台的粗动台上;
所述插销孔和插销为圆弧形;
或者所述插销孔和插销为直线形,将直线形插销和直线形插销孔共称为直线销组件,所述直线销组件至少为对称设置的两组,且所述两组直线销组件之间存在夹角。
2.如权利要求1所述的工件台锁定限位装置,其特征在于,所述插销孔和插销为圆弧形时,与所述插销孔对应的圆和与所述插销对应的圆为全等同心圆。
3.如权利要求2所述的工件台锁定限位装置,其特征在于,所述驱动组件采用摆动气缸,所述摆动气缸的活塞与所述插销的一端固接。
4.如权利要求2所述的工件台锁定限位装置,其特征在于,所述驱动组件包括直线气缸、与所述直线气缸的活塞连接的滑块以及与所述滑块对应的导轨,其中,所述滑块与所述插销的一端固接,所述导轨为与所述插销以及插销孔相对应的圆弧形。
5.如权利要求4所述的工件台锁定限位装置,其特征在于,所述直线气缸的固定端与所述支架铰接。
6.如权利要求1所述的工件台锁定限位装置,其特征在于,当所述插销孔和插销为直线形时,所述驱动组件采用直线气缸,所述直线气缸的活塞通过连杆组件同时控制两组所述直线形插销。
7.如权利要求6所述的工件台锁定限位装置,其特征在于,所述连杆组件通过直线滑块与所述直线形插销的一端连接,所述支架上还设置有与该直线滑块对应的直线导轨。
8.如权利要求1所述的工件台锁定限位装置,其特征在于,当所述插销孔和插销为直线形时,所述驱动组件采用直线气缸,且所述直线气缸同样为对称设置的两组。
9.如权利要求1所述的工件台锁定限位装置,其特征在于,当所述插销孔和插销为直线形时,所述的工件台锁定限位装置还包括第三组直线销组件,该三组直线销组件与防撞模块之间的夹角各不相同。
10.一种工件台,包括:支架、与所述支架连接的磁钢阵列,与所述磁钢阵列对应设置的线缆、安装在所述线缆上的粗动台以及安装在所述粗动台上的防撞模块,其特征在于,还包括如权利要求1~9任一项所述的工件台锁定限位装置。
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