[发明专利]一种二极管自动清洗系统及清洗方法有效
申请号: | 201610455930.5 | 申请日: | 2016-06-22 |
公开(公告)号: | CN105957822B | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
发明(设计)人: | 石治洪;陈林;朱灿;欧博;文海 | 申请(专利权)人: | 贵州雅光电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/02 |
代理公司: | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人: | 商小川 |
地址: | 550025 贵州省贵*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 本发明提供一种二极管自动清洗系统及清洗方法,系统包括机身和清洗机构,机身上设置有清洗槽和模具传动机构,且模具传动机构沿横向穿过清洗槽,清洗机构包括供水管和喷头,喷头设置于供水管的一端,且喷头设置于清洗槽内,供水管上设置有控制阀。以解决现有二极管清洗方式清洗效率低,劳动强度高,需要占用大量的人力成本,且人工清洗常常会有疏漏,造成部分二极管清洗不充分,影响二极管质量等问题。本发明属于二极管加工领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 二极管 自动 清洗 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种二极管自动清洗系统,包括机身(1)和清洗机构(2),机身(1)上设置有清洗槽(3)和模具传动机构(4),且模具传动机构(4)沿横向穿过清洗槽(3),清洗机构(2)包括供水管(21)和喷头(22),喷头(22)设置于供水管(21)的一端,且喷头(22)设置于清洗槽(3)内,供水管(21)上设置有控制阀(23);所述模具传动机构(4)包括至少两组相互平行的传动链条(41),传动链条(41)由设置于机身(1)相对两端的传动轴(42)带动,且其中至少一个传动轴(42)由驱动电机(43)驱动,相邻两传动链条(41)的内侧对应设置有模具限位卡块(44);其特征在于:还包括有升降板(5)和驱动升降板(5)升降和转动的驱动装置(6),升降板(5)设置于清洗槽(3)内的相邻两传动链条(41)之间。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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