[发明专利]用于芯片测试设备的真空吸附装置

摘要

本发明涉及一种用于芯片测试设备的真空吸附装置，包括座体与盖板；所述盖板的外表面上设置有向外凸出的芯片引脚支撑壁，所述芯片引脚支撑壁之间形成芯片容纳腔；所述座体上开有与所述芯片容纳腔的所处位置相对应的通孔；所述座体的通孔与所述盖板的芯片容纳腔之间安装有吸嘴部件，所述吸嘴部件包括吸嘴柱体及橡胶吸嘴，所述吸嘴柱体上设置有轴向贯穿的气孔，所述吸嘴柱体的一端从所述座体的通孔内伸出，所述吸嘴柱体的另一端固定有所述橡胶吸嘴，所述橡胶吸嘴与所述气孔相连通，所述橡胶吸嘴位于所述芯片容纳腔内；所述吸嘴柱体的圆柱表面套有弹簧。本发明在吸嘴部件上设置有可伸缩的橡胶吸嘴，可有效避免芯片引脚受挤压而引起的站高变化。

主权项

1.一种用于芯片测试设备的真空吸附装置，包括固定在一起的座体(8)与盖板(1)；所述盖板(1)的外表面上设置有向外凸出的芯片引脚支撑壁(3)，所述芯片引脚支撑壁(3)之间形成芯片容纳腔(2)；所述座体(8)上开有与所述芯片容纳腔(2)的所处位置相对应的通孔(12)；其特征是：所述座体(8)的通孔(12)与所述盖板(1)的芯片容纳腔(2)之间安装有吸嘴部件(6)，所述吸嘴部件(6)包括吸嘴柱体(18)及橡胶吸嘴(17)，所述吸嘴柱体(18)上设置有轴向贯穿的气孔(21)，所述吸嘴柱体(18)的一端从所述座体(8)的通孔(12)内伸出，所述吸嘴柱体(18)的另一端固定有所述橡胶吸嘴(17)，所述橡胶吸嘴(17)与所述气孔(21)相连通，所述橡胶吸嘴(17)位于所述芯片容纳腔(2)内；所述吸嘴柱体(18)的圆柱表面套有弹簧(9)；/n所述橡胶吸嘴(17)的端部可伸缩，所述橡胶吸嘴(17)的缓冲行程超过待测试芯片(4)的芯片引脚(5)与所述芯片引脚支撑壁(3)之间的最大间隙。/n