[发明专利]基于3D打印铁磁层增强LED发光效率的方法

摘要

本发明属于光电子器件领域，具体是基于3D打印铁磁层增强LED发光效率的方法，其采用MOCVD或MBE生长的具有成核层、非故意掺杂层、n型层、多周期的量子阱有源层及p型层的外延片，并刻蚀出n型层台面，3D打印欧姆接触反光镜、n型电极、p型电极、铁磁材料层及铁磁材料保护层。本发明采用3D打印铁磁层来增强LED的发光效率，铁磁材料层产生的磁场作用于多量子阱有源区，能够将载流子局域在富In的区域，提高载流子的辐射复合率，从而提高发光效率。而且3D打印生产工艺简单，能够有效的提高生产效率。

主权项

基于3D打印铁磁层增强LED发光效率的方法，其特征在于，步骤一：采用MOCVD或MBE生长具有低温成核层、非故意掺杂层、n‑GaN层、多周期的InGaN/GaN有源层及p‑GaN层的外延片；步骤二：于外延片上刻蚀出n型层台面，刻蚀深度达到n‑GaN层；步骤三：根据结构设计编写各3D打印头的运动路径程序，将清洁好的外延片作为基片放入3D打印机中，利用单个或阵列式3D反光镜材料打印头在p‑GaN层上打印欧姆接触反光镜；利用单个或阵列式3D n型电极材料打印头在n型层台面上打印n型电极；利用单个或阵列式3D p型电极材料打印头在欧姆接触反光镜上打印p型电极，且p型电极占据欧姆接触反光镜的三分之一；利用单个或阵列式3D铁磁材料打印头在除p型电极外的其他欧姆接触反光镜上打印铁磁材料层；利用单个或阵列式3D铁磁保护材料打印头在铁磁材料层上打印铁磁材料保护层；步骤四：将打印好铁磁材料保护层的基片置于外磁场中进行磁化，磁化强度为0.5T‑1.5T，温度为100‑300℃，时间为30‑120min。