[发明专利]用于集成电路封装的转接板与有机基板组装方法有效
申请号: | 201610323672.5 | 申请日: | 2016-05-16 |
公开(公告)号: | CN105977211B | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 陈波;朱媛;高娜燕;明雪飞;吉勇;汤赛楠 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十八研究所 |
主分类号: | H01L21/98 | 分类号: | H01L21/98 |
代理公司: | 总装工程兵科研一所专利服务中心 32002 | 代理人: | 杨立秋 |
地址: | 214035 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于集成电路封装的转接板与有机基板组装方法。首先,制备保护模具,其根据转接板PAD的位置制备对应的掩膜版,并根据PAD区域形状进行刻蚀加工形成对应的刻蚀图形;转接板置于有机基板上,保护模具置于设备吸头与转接板之间,并且保护模具的刻蚀图形与转接板的PAD所在区域相对应匹配;同时对设备吸头施加压力及对有机基板进行加热使转接板焊料与有机基板的焊盘融合焊接;焊接结束后撤除设备吸头及保护模具。本发明在组装过程可避免转接板表面钝化层的损伤,同时保证转接板与有机基板之间的焊接可靠性,并降低了对吸头性能的要求,从而节约了成本。 | ||
搜索关键词: | 用于 集成电路 封装 转接 有机 组装 方法 | ||
【主权项】:
1.用于集成电路封装的转接板与有机基板组装方法,其特征在于,制备保护模具,所述保护模具根据转接板的PAD位置及大小制备对应图形的掩膜版,并对所述图形进行刻蚀形成刻蚀图形;将所述转接板置于有机基板上,且所述转接板的BUMP涂有焊料,所述有机基板附有焊盘;将所述保护模具置于所述转接板上,所述刻蚀图形与所述转接板PAD的位置相对应,且所述刻蚀图形的深度与所述转接板PAD的高度匹配,其深度大于转接板PAD的高度;将设备吸头吸附于所述保护模具上;在所述设备吸头施加压力的同时,对所述有机基板进行加热,使所述转接板的焊料与所述有机基板的焊盘融合焊接;焊接结束后撤除所述设备吸头及所述保护模具。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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