[发明专利]一种探针式轮廓仪形貌测量动态误差的控制方法在审
申请号: | 201610312680.X | 申请日: | 2016-05-12 |
公开(公告)号: | CN105841658A | 公开(公告)日: | 2016-08-10 |
发明(设计)人: | 许斌;刘乾乾;赵世平 | 申请(专利权)人: | 四川大学 |
主分类号: | G01B21/20 | 分类号: | G01B21/20;G06F17/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610065 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种探针式轮廓仪形貌测量动态误差的控制方法,涉及探针式轮廓仪形貌测量领域,以下步骤,(1)、确定轮廓仪形貌测量基本参数;(2)、构建测量力模型以及测量力分析;(3)、构建探针跳动的动力学模型;(4)、被测工件形貌测量的仿真;(5)、根据测量要求,优化选择测量速度与工件装夹高度。本发明不需要修改轮廓仪的硬件结构,针对具体的被测工件和测量要求设置扫描速度与工件的装夹高度,实现对测量动态误差和测量力的优化控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 轮廓仪 形貌 测量 动态 误差 控制 方法 | ||
【主权项】:
一种探针式轮廓仪形貌测量动态误差的控制方法,其特征是,包括以下步骤:(1)、确定轮廓仪形貌测量基本参数;(2)、构建测量力模型以及测量力分析;(3)、构建探针跳动的动力学模型;(4)、被测工件形貌测量的仿真;(5)、根据测量要求,优化选择测量速度与工件装夹高度。
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