[发明专利]基于MEMS扫描微镜的双通过光栅单色仪光路结构在审
| 申请号： | 201610308908.8 | 申请日： | 2016-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN106017673A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 张尹馨;庞亚军;黄战华;赵健;盖叶 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01J3/18 | 分类号： | G01J3/18;G02B26/08 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘国威 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于光谱测量仪器领域，为提供一种基于MEMS扫描微镜的双通过光栅单色仪光路结构。本发明‑基于MEMS扫描微镜的双通过光栅单色仪光路结构，由光环形器，光纤信号输入端口，入射光纤端口，准直与聚焦镜，MEMES微镜，光栅，平面反射镜和出射光纤端口组成；光纤信号输入端口连接光环行器的第一端口,光信号经过光环行器的第二端口从入射光纤端口进去自由空间，经过双胶合透镜准直以后照射到MEMS微镜上，MEMS微镜将光信号反射到光栅上进行第一次衍射分光，紧接着平面反射镜将光信号按原路反射回光栅进行第二次衍射，最后进入入射光纤端口。本发明主要应用于光谱测量仪器设计制造。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 扫描 通过 光栅 单色仪 结构 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS扫描微镜的双通过光栅单色仪光路结构，其特征是，由光环形器，光纤信号输入端口，入射光纤端口，准直与聚焦镜，MEMES微镜，光栅，平面反射镜和出射光纤端口组成；光纤信号输入端口连接光环行器的第一端口,光信号经过光环行器的第二端口从入射光纤端口进去自由空间，经过双胶合透镜准直以后照射到MEMS微镜上，MEMS微镜将光信号反射到光栅上进行第一次衍射分光，紧接着平面反射镜将光信号按原路反射回光栅进行第二次衍射，第二次衍射光按第一次衍射的入射角返回MEMES微镜，然后经过MEMS微镜反射，双胶合透镜聚焦后进入入射光纤端口，从光环行器的第二端口进入后，从第三端口即光纤出射端口出射；通过MEMES微镜的小角度扫描，不同波长的单色光分别从光纤出射端口出射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610308908.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
