[发明专利]夏克－哈特曼波前传感器频响特性的标定装置及标定方法

摘要

本发明涉及夏克－哈特曼波前传感器(以下简称传感器)频响特性的标定装置及标定方法，装置包括刀口、刀口位置精密调节装置以及依次设置在激光器输出光路上的准直镜和传感器；传感器与准直镜的光轴穿好；传感器的微透镜阵列的行方向垂直于空间直角坐标系的XOZ平面，列方向平行于空间直角坐标系的OX轴。刀口安装在刀口位置精密调节装置上，刀口距微透镜阵列所在平面的距离小于L_x/(λv_max)，v_max为传感器的截止频率，L_x为传感器在X方向上的工作长度，λ为所述激光器输出激光的波长；刀口的刃边与微透镜阵列的行方向平行，刃边位于微透镜阵列下方，刃边沿准直镜光轴方向的延长线交于微透镜阵列最下方一行透镜的中心处。本发明能获取传感器在全频段的响应特性。

主权项

1.夏克－哈特曼波前传感器频响特性的标定装置，包括激光器、准直镜和夏克－哈特曼波前传感器；所述准直镜和夏克－哈特曼波前传感器依次设置在激光器的输出光路上；所述夏克－哈特曼波前传感器与准直镜的光轴穿好；所述夏克－哈特曼波前传感器包括微透镜阵列；所述微透镜阵列的行方向垂直于空间直角坐标系的XOZ平面，列方向平行于空间直角坐标系的OX轴；其特征在于：标定装置还包括刀口和刀口位置精密调节装置；所述刀口安装在刀口位置精密调节装置上，并位于准直镜和夏克－哈特曼波前传感器之间的光路上；标定时，所述刀口距微透镜阵列所在平面的距离小于Lx/(λvmax)，vmax为夏克－哈特曼波前传感器的截止频率，Lx为夏克－哈特曼波前传感器在X方向上的工作长度，λ为所述激光器输出激光的波长；刀口的刃边与所述微透镜阵列的行方向平行，刃边距准直镜的入瞳边缘有一定距离，刃边位于微透镜阵列下方，刃边沿准直镜光轴方向的延长线交于微透镜阵列最下方一行透镜的中心处；所述激光器发出的单色光经准直镜后出射平行光束，所述平行光束经刀口的刃边衍射后，在微透镜阵列的正前方产生用于夏克－哈特曼波前传感器频响特性标定的衍射光波相位分布，且该衍射光波的相位的空间频率在夏克－哈特曼波前传感器列方向上线性增加；所述刀口位置精密调节装置由电控转台和三维平移台组成，刀口安装在电控转台上。