[发明专利]压电膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610296599.7 | 申请日： | 2016-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN107346802B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 张小飞;吴胜强;李令英;周岩;李鹏;钱波;谢永林 | 申请（专利权）人： | 上海锐尔发数码科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/39 | 分类号： | H01L41/39;H01L41/43;H01L41/18;H01L41/187;C04B35/491;C04B35/453 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 201799 上海市青浦区沪青平公路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电膜的制备方法，包括：配制稳态液相前驱体；其中，所述稳态液相前驱体的组成与所述压电膜的组成相匹配；提供一基底，在所述基底的表面上制备凸起作为应力释放结构；在所述基底及所述凸起的表面上依次叠层制备隔离层、电极层后，形成衬底；制备压电膜：将所述稳态液相前驱体涂覆在所述衬底的远离所述基底的表面上，并进行初步退火。根据本发明的制备方法，通过制备具有应力释放结构的衬底，有效地释放了由于基底面积太大而引起的应力，从而制备得到大面积、无裂纹且性能良好的压电膜。本发明还公开了由上述制备方法制备获得的压电膜。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种压电膜的制备方法，其特征在于，包括：配制稳态液相前驱体；其中，所述稳态液相前驱体的组成与所述压电膜的组成相匹配；提供一基底，在所述基底的表面上制备凸起作为应力释放结构；在所述基底及所述凸起的表面上依次叠层制备隔离层、电极层后，形成衬底；制备压电膜：将所述稳态液相前驱体涂覆在所述衬底的远离所述基底的表面，然后进行初步退火。
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