[发明专利]测量气体和真空中粒子簇的电流分布有效
| 申请号： | 201610270005.5 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN106093515B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 乌韦·伦纳 | 申请（专利权）人： | 布鲁克道尔顿有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 顾丽波;井杰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及测量撞击Faraday检测器的检测器电极的自由飞行离子簇或电子簇的电流分布。此处的检测器电极由大量双极布置的结构元件组成，其中相邻结构元件具有相反的极性，并且具有相同极性的结构元件电相连，在相邻结构元件之间施加电压，从而使离子或电子在撞击检测电极之前，基本偏转到具有两种极性的其中一种极性的结构元件上。如果单独测量两种极性结构元件上的电流分布并将其相减，则可在不使用帘栅极的情况下获得对应于纯离子或纯电子电流分布的电流分布。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 气体 空中 粒子 电流 分布 | ||
【主权项】：
1.测量撞击检测器电极的自由飞行带电粒子簇的电流分布的方法，其中‑所述检测器电极由多个双极布置的结构元件组成，其中相邻结构元件具有相反的极性，并且具有相同极性的所有结构元件都连接在一起，‑在具有不同极性的两组结构元件之间施加电压，以使入射粒子在撞击之前以仅撞击一种极性的结构元件的方式偏转，‑分别测量两种极性中每种极性的结构元件的电流分布，并‑将两个电流分布相减，其中以几乎相同的方式在两组结构元件中形成的镜像电流分布也被相减，从而获得对应于纯粒子电流的电流分布。
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