[发明专利]测量气体和真空中粒子簇的电流分布有效
| 申请号： | 201610270005.5 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN106093515B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 乌韦·伦纳 | 申请（专利权）人： | 布鲁克道尔顿有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 顾丽波;井杰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量 气体 空中 粒子 电流 分布 | ||
【说明书】：
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