[发明专利]用于加速度传感器的微机械结构在审
| 申请号： | 201610269963.0 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN106082105A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | G·N·C·乌尔希里 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01P15/08;G01P15/097 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于加速度传感器的微机械结构(100)，所述微机械结构具有：振动质量(20)，其借助中央连接元件(13)连接到衬底(10)上；布置在所述衬底(10)上的定义数量的电极(11a，12a)；其中相对于感测轴线在所述连接元件(13)的两侧分别布置有一个弹簧元件(21)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加速度 传感器 微机 结构 | ||
【主权项】：
一种用于加速度传感器的微机械结构(100)，所述微机械结构具有：振动质量(20)，其借助中央连接元件(13)连接到衬底(10)上；布置在所述衬底(10)上的定义数量的电极(11a，12a)；其中，相对于感测轴线在所述连接元件(13)的两侧分别布置有一个弹簧元件(21)。
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