[发明专利]一种利用金属靶材在带孔金属产品上镀黑色涂层的磁控溅射装置及其方法

摘要

本发明公开了一种利用金属靶材在带孔金属产品上镀黑色涂层的磁控溅射装置，它包括炉体（1）、转架（2）、安装于炉体（1）顶部的顶盖（3）、安装于炉体（1）上的封闭门以及设置于炉体（1）外部的电机（4）、抽真空装置（5）、负电源（6）和电源（7），顶盖（3）的上表面经转轴旋转安装有大齿轮（8），电机（4）的输出端与大齿轮（8）的转轴连接，抽真空装置（5）的工作端与炉体（1）的内部连通。本发明的有益效果是现了带孔金属产品的快速安装、方便安装和卸下夹具、提高产品的抗腐蚀、耐磨防划以及耐人工汗的利用金属靶材在带孔金属产品上镀黑色涂层。

主权项

一种利用金属靶材在带孔金属产品上镀黑色涂层的磁控溅射装置，其特征在于：它包括炉体（1）、转架（2）、安装于炉体（1）顶部的顶盖（3）、安装于炉体（1）上的封闭门以及设置于炉体（1）外部的电机（4）、抽真空装置（5）、负电源（6）和电源（7），顶盖（3）的上表面经转轴旋转安装有大齿轮（8），电机（4）的输出端与大齿轮（8）的转轴连接，抽真空装置（5）的工作端与炉体（1）的内部连通，所述的炉体（1）的侧壁上设置有连通炉体（1）的进气管A（9）和进气管B（10），炉体（1）内设置有两个隔热装置，两个隔热装置均由螺纹杆（11）和隔热钢板（12）组成，螺纹杆（11）设置于炉体（1）的内壁上，螺纹杆（11）上设置有多个隔热钢板（12），所述的炉体（1）内还设置有升温装置（13）、温度传感器、管靶材A（14）和管靶材B（15），管靶材A（14）和管靶材B（15）的结构相同且均由不锈钢管（16）、进水管（17）、出水管（18）以及喷涂于不锈钢管（16）外表面的金属层（19）组成，不锈钢管（16）的上下端分别设置有上堵塞（20）和下堵塞（21），进水管（17）旋转安装于顶盖（3）上，进水管（17）的下端部贯穿上堵塞（20）且伸入不锈钢管（16）内，进水管（17）的下端部设置有多个出水小孔（22），进水管（17）的上端部设置安装有小齿轮（23），小齿轮（23）与大齿轮（8）啮合，出水管（18）的下端部贯穿上堵塞（20）设置，出水管（18）的上端部设置于炉体（1）的外部，所述的电源（7）的正极与管靶材B（15）的金属层（19）电连接，电源（7）的负极与管靶材A（14）的金属层（19）电连接；所述的转架（2）设置于炉体（1）内且位于管靶材A（14）和管靶材B（15）之间，转架（2）与负电源（6）通过导线连接，转架（2）由转盘（24）、拉杆（25）、挂钩（26）、支撑盘（27）和主轴（28）组成，主轴（28）与大齿轮（8）的转轴连接，转盘（24）安装于主轴（28）上，支撑盘（27）设置于转盘（24）的下方，支撑盘（27）上设置有多个通孔（39），支撑盘（27）与转盘（24）之间设置有多根拉杆（25），转盘（24）的下表面设置有多个挂钩（26）；所述的夹具包括立杆（29）和安装盘（30），立杆（29）上且沿立杆（29）的长度方向上间隔设置有多个安装盘（30），安装盘（30）由圆盘（31）、弯折板（32）、环形圈（33）以及呈三角形状的尖头（34）组成，立杆（29）贯穿圆盘（31）设置，圆盘（31）设置于环形圈（33）的中部，圆盘（31）与环形圈（33）之间设置有多个连接板（35），环形圈（33）的外边缘上且以立杆（29）为圆形均匀分布有多个弯折板（32），弯折板（32）上设置有尖头（34），尖头（34）与环形圈（33）呈夹角设置，立杆（29）的上端部设置有插销（36），插销（36）悬挂于挂钩（26）上，立杆（29）的下端部还设置有外螺纹，外螺纹上连接有多个螺母（37），立杆（29）的底端部设置有固定轴（38），固定轴（38）插装于通孔（39）内。