[发明专利]一种用于半加成法制备精细线路的差分蚀刻溶液在审
| 申请号： | 201610260091.1 | 申请日： | 2016-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN105848421A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王靖;张斌;过勇 | 申请（专利权）人： | 王靖;张斌;过勇 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;C23F1/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于半加成法制备精细线路中的差分蚀刻溶液，包括基础溶液和差分蚀刻添加剂两部分，其中基础溶液为硫酸和双氧水，所述差分蚀刻添加剂包含双氧水稳定剂、微蚀剂清洁剂、侧蚀保护剂、光泽剂、粗糙度控制剂五类化学试剂。相较于现有技术，本发明可以有效去除底铜并有效减少侧蚀。一方面由于本发明采用侧蚀保护剂，大大减少了Undercut的产生，提高线路的良率，同时有效地保护了线路的棱角，维持线路截面的矩形形貌，另一方面由于本发明同时采用微蚀清洁剂、粗糙度控制剂等添加剂，对差分蚀刻后的线路微观形貌进一步控制，获得视觉上光亮清洁，微观上有0.2‑0.5μm的粗糙度，便于后续制程的衔接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 成法 制备 精细 线路 蚀刻 溶液 | ||
【主权项】：
一种用于半加成法制备精细线路的差分蚀刻溶液，包括基础溶液和差分蚀刻添加剂，其特征在于：所述基础溶液采用硫酸和双氧水体系，所述差分蚀刻添加剂包含双氧水稳定剂、微蚀清洁剂、侧蚀保护剂、光泽剂、粗糙度控制剂五种。
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