[发明专利]表面声波器件及其制造方法、温度检测设备在审
| 申请号： | 201610236703.3 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN107302348A | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 刘源;保罗·邦凡蒂 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;G01K11/22 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 金华 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种表面声波器件的制造方法、温度检测设备。所述表面声波器件的制造方法包括提供一牺牲层；在所述牺牲层上依次形成耐高温压电材料层和耐高温金属层；光刻刻蚀所述耐高温金属层形成反射器和叉指电极；在所述耐高温压电材料层上紧靠所述叉指电极两侧形成天线；提供一衬底，并在所述衬底中形成一凹陷；将所述衬底自凹陷周围与所述耐高温压电材料层键合，所述反射器、叉指电极及天线被密封在所述凹陷中；去除所述牺牲层。由此，实现了表面声波器件的密封式结构，避免了反应腔内的产物对表面声波器件的干扰；还将表面声波器件与晶圆隔离，避免了晶圆在加工过程中受到表面声波器件所具有的金属的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 声波 器件 及其 制造 方法 温度 检测 设备 | ||
【主权项】：
一种表面声波器件的制造方法，包括：提供一牺牲层；在所述牺牲层上依次形成耐高温压电材料层和耐高温金属层；光刻刻蚀所述耐高温金属层形成反射器和叉指电极；在所述耐高温压电材料层上紧靠所述叉指电极两侧形成天线；提供一衬底，并在所述衬底中形成一凹陷；将所述衬底自凹陷周围与所述耐高温压电材料层键合，所述反射器、叉指电极及天线被密封在所述凹陷中；去除所述牺牲层。
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