[发明专利]产生脉冲等离子体的方法及其等离子体设备在审
| 申请号： | 201610223428.1 | 申请日： | 2016-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN107295739A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 韦刚;成晓阳;卫晶;苏恒毅 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种产生脉冲等离子体的方法及其等离子体设备，通过脉冲电源向反应腔室输出功率,以产生脉冲等离子体，所述方法包括以下步骤所述脉冲电源输出第一脉冲信号，所述第一脉冲信号的功率为P1，持续时间为T1；所述脉冲电源输出第二脉冲信号，所述第二脉冲信号的功率为P2，持续时间为T2，其中，P2≠P1≠0。本发明中的产生脉冲等离子体的方法，通过脉冲调制将功率输出调制成不同输出功率P1和P2的两个脉冲信号，其中，P2≠P1≠0，从而在整个脉冲周期内，可以始终维持等离子体放电，保持等离子体状态稳定，进而使得脉冲射频阻抗匹配非常容易，减少等离子体诱导损伤，大大提高了工艺过程及晶片处理的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 脉冲 等离子体 方法 及其 设备 | ||
【主权项】：
一种产生脉冲等离子体的方法，通过脉冲电源向反应腔室输出功率,以产生脉冲等离子体,其特征在于，所述方法包括以下步骤：所述脉冲电源输出第一脉冲信号，所述第一脉冲信号的功率为P1，持续时间为T1；所述脉冲电源输出第二脉冲信号，所述第二脉冲信号的功率为P2，持续时间为T2，其中，P2≠P1≠0。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610223428.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种头戴式显示设备
- 下一篇：光检测封装及其检测方法
